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製品情報

光酸発生剤(スルホニウム塩タイプ)

CPI®-100 / 200シリーズ
UV / i線対応
CPI®-300シリーズ
i線対応
VC-1 開発品
i線対応
  • VC-1FG(粉体)
  • カチオン
    (光吸収部位)

    カチオン(光吸収部位)構造式
CPI®-400シリーズ
g線対応 / h線対応 / i線対応
ES-1 開発品、ES-2 開発品
g線対応 / h線対応 / i線対応
  • ES-1B(粉体)
  • ES-2B(粉体)
  • カチオン
    (光吸収部位)

    カチオン(光吸収部位)構造式

光酸発生剤(ヨード二ウム塩タイプ)
IKシリーズ

  • IK-1(粉体)
  • IK-1FG(粉体)
  • カチオン
    (光吸収部位)

    カチオン(光吸収部位)構造式
  • IK-20B(粉体)
  • カチオン
    (光吸収部位)

    カチオン(光吸収部位)構造式

光酸発生剤(非イオン性タイプ)

NAシリーズ(開発品)
i線対応
  • NA-CS1(粉体)
  • 光吸収部位:
    アリールアミド骨格

    光吸収部位:アリールアミド骨格

TAシリーズ(スルホニウム塩タイプ)

IKシリーズ(ヨード二ウム塩タイプ)

  • IK-1(粉体)
  • IK-1FG(粉体)
  • カチオン

    カチオン

AAシリーズ(アンモニウム塩タイプ)

  • AA-01(粉体)
  • カチオン

    カチオン

 

  • IK-20B(粉体)
  • カチオン

    カチオン
  • DBN(液体)
  • 構造式

熱塩基発生剤

DBU塩 熱塩基発生剤

DBU塩

DBU塩

DBU誘導体塩

DBN塩

フェニルホスフィン誘導体塩

ウレア類

アミン類

アンモニウム塩類

NA-CS1非イオン性光酸発生剤
光カチオン重合開始剤
非イオン(粉体)

特性・用途

NA-CS1は、当社にしかない特殊グレードのi線に高感度の非イオン性タイプの光酸発生剤です。嵩高いカンファースルホン酸を発生するため、酸の拡散性を抑える(例えばパターンの矩形性向上など)ことが可能です。また、トリエチルアミンといった強アミンへの耐性や熱安定性に優れます。
NA-CS1は、無溶剤タイプの粉体品です。

NA-CS1の構造式
  • 吸収波長について
    i線(365nm)では、モル吸光係数で400 [M-1cm-1]程度の吸収があります。 h線(405nm)やg線(436nm)には吸収がありません。
  • 溶解性について
    PGMEAに対して25wt%、γ-ブチロラクトンに対しては35wt%溶解します。
  • アミン化合物への耐性について
    ピリジンやトリエチルアミン存在下でも高い安定性を示します。
  • 発生酸が異なるタイプについて
    アルキルスルホン酸、アリールスルホン酸を中心に開発実績がございます。お気軽にお問い合わせください。
  • 推奨添加量について
    用途、膜厚にもよりますが樹脂に対して0.5~3wt%程度添加してください。
  • 推奨膜厚について
    365nmでのモル吸光係数が低く、透過性が高いため、厚膜(50μm以上)での使用に適しています。もちろん薄膜でもご使用いただけます。

製品詳細

NA-CS1

外観

粉体

粉体

有償サンプル請求
構造式 アニオン(発生酸) CAS RN® 分子量 外観 i線高感度 高耐熱着色性(高透明性) gh線高感度 高溶解性 高活性(強酸タイプ) 溶液品 PFASフリー 低金属腐食性 荷姿 開発ステージ
構造式

カンファスルホン酸

あり(非開示) 約500 粉体 白色~淡褐色 0.5kgポリ瓶 パイロット

サンアプロは技術的なご相談を承っています

当社の製品をご検討いただきありがとうございます。
製品開発担当者様や研究者様が直面する課題に対し、当社製品の特性やデータ・技術情報をご提供しながら製品開発のお力添えを行っています。

PFAS FREE

近年では有機フッ素化合物:PFAS(ピーファス) (ペルフルオロアルキル化合物及びポリフルオロアルキル化合物の総称※) の規制が世界的に強まる中、当社として、お客様により安心してお使いいただくために、PFASフリー製品の開発に注力しております。既存のPFASフリー製品のラインアップもぜひご活用ください。

※PFAS:2021年に公表されたOECDの定義

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